等(deng)離子體清洗機(ji)(ji)在(zai)處(chu)理(li)晶圓(yuan)表面(mian)(mian)(mian)光刻(ke)膠時(shi),等(deng)離子表面(mian)(mian)(mian)清洗能(neng)(neng)夠(gou)徹底(di)去除表面(mian)(mian)(mian)光刻(ke)膠和其余有(you)機(ji)(ji)物,也(ye)可(ke)以通過等(deng)離子活(huo)化(hua)和粗(cu)化(hua)作(zuo)用,對晶圓(yuan)表面(mian)(mian)(mian)進行處(chu)理(li),能(neng)(neng)有(you)效提高(gao)(gao)其表面(mian)(mian)(mian)浸(jin)潤性。相比(bi)于傳統的(de)濕式(shi)化(hua)學方法,等(deng)離子體清洗機(ji)(ji)干式(shi)處(chu)理(li)的(de)可(ke)控(kong)性更強,一致性更好,而(er)且(qie)能(neng)(neng)活(huo)化(hua)、粗(cu)化(hua)晶片表面(mian)(mian)(mian),提高(gao)(gao)晶片表面(mian)(mian)(mian)的(de)浸(jin)潤性。
等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂.
等(deng)離子清(qing)洗機用于(yu)半導(dao)體IC; SMT;LCD等(deng)制造過程(cheng)中(zhong)表面(mian)(mian)(mian)清(qing)潔(jie)和(he)表面(mian)(mian)(mian)改善(shan)功能(neng)(neng)。去除外(wai)表面(mian)(mian)(mian)殘(can)留的(de)(de)光刻膠,有機污染物(wu),溢出(chu)的(de)(de)環(huan)氧樹脂等(deng);還可(ke)以對表面(mian)(mian)(mian)的(de)(de)性能(neng)(neng)進(jin)行活化,增加(jia)表面(mian)(mian)(mian)的(de)(de)焊(han)接及封(feng)裝(zhuang)能(neng)(neng)力(li)…。等(deng)離子清(qing)洗機可(ke)以用于(yu)生產(chan)制造過程(cheng)中(zhong),也(ye)可(ke)以用于(yu)FA或QA實驗室中(zhong)。